作者：王泽龙; 刘哲; 赵欣悦; 刘军山聚丙烯酸旋涂转速厚度均匀性牺牲层
摘要：研究了旋涂转速对于聚丙烯酸薄膜性能的影响,建立了旋涂转速与聚丙烯酸薄膜厚度及均匀性的关系。当旋涂转速由1 000 r/min逐渐提高到5 000 r/min时,聚丙烯酸薄膜的厚度由0.976μm逐渐减小到了0.394μm,薄膜厚度的标准偏差由0.022μm逐渐减小到了0.008μm。此外,基于光刻工艺在旋涂的聚丙烯酸薄膜表面成功制作了多种金图形,验证了聚丙烯酸薄膜作为水溶性牺牲层与光刻工艺的兼容性。
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