作者：黄佐华; 何振江; 杨冠玲; 傅强椭偏仪消光法光度法膜厚精确度
摘要：根据椭偏消光法和光度法原理,研制成功一台消光法和光度法兼容的自动椭偏测厚仪.本文介绍椭偏光度法的测量原理和仪器的测量过程及方法,并详细给出仪器测量精确度的实验研究结果.
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《机电工程技术》（CN：44-1522/TH）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《机电工程技术》全面分析、报道机电工业领域的行业动态、先进技术、市场趋势及供求信息，面向中国机电企业高级管理层、企业规划和生产设计部门技术人员、产品和市场部门经理、院校师生，为机电工业领域的决策者及有关人士提供最新的管理经验与技术。
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