作者：刘红军; 杨刚; 孟宪圆; 郑金宝; 刘宵婵; ...模板匹配自动对准晶圆探针台图像识别机器视觉
摘要：介绍了在二极管探针台测试晶圆过程中一种晶圆自动对准方法。在承片台上放置晶圆后,首先利用一次模板匹配实现对晶圆偏转角度的调整;然后,晶圆上的特征点移至CCD视场范围内,对初始特征点进行二次模板匹配,再将晶圆上的测试起点移至测试探针下方完成对准工作。
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《机电产品开发与创新》（CN：11-3913/TM）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《机电产品开发与创新》杂志文章均邀请国内高等院校、科研院所的知名专家及企业技术研究、产品开发、项目管理人员撰写，具有一定的深度和现实的指导意义，代表了行业现状及发展趋势。
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