MEMS的微细加工技术

作者：戴亚春; 周建忠; 王匀; 马欣涛微型机械微成形mems光刻掩模激光刻蚀liga激光加工技术

摘要：介绍了目前比较前沿的几种微型腔的机械加工方法：光刻掩模、高能束刻蚀（激光刻蚀）和LIGA技术等加工方法。对这些技术的发展趋势进行了展望。指出微器件的推广和应用，是和微器件的加工方法密不可分的，特别是随着激光加工技术在微机械加工领域的推广和应用．微器件的加工工艺水平和加工质量会有更大的提高。

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