作者：张德三; 王松; 刘雨虹; 程海波; 耿职翻板阀密封
摘要：Low-E镀膜生产线的翻板阀位于不同的腔室之间,利用其密封功能将不同功能的腔室隔离开,以形成正常工作所需的真空梯度。翻板阀密封圈的选型主要涉及两个方面,一是密封圈的材质;二是密封圈的硬度和截面直径的确定。该文分析了密封圈的材质特性并探讨了选型和设计计算方法。
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