基于CMOS图像传感器的彩色滤镜和微透镜工艺研究

作者：史海军; 叶红波cmos图像传感器像素阵列彩色滤镜微透镜工艺技术

摘要：对CMOS图像传感器加工彩色滤镜和微透镜工艺进行深入研究,总结出整个滤镜和微透镜工艺的流程及加工方法。虽然其工艺具有相当的难度,然而平面化和微透镜技术是先进色彩处理技术必须解决和实现的关键问题,所以彩色滤镜的工艺继续开发和研究是非常有积极意义的。

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