作者：宋健; 王承惠; 周洁; 姜舜集成电路制造离子色谱仪洁净室阴离子含量
摘要：随着工艺的推进,线宽的缩小,洁净室空气中阴离子的存在对芯片产品的良率影响更加明显,这就要求对阴离子含量的分析能达到更低的检出限以更好的管控洁净室空气的质量。描述一种分析洁净室空气中的痕量阴离子含量的方法,可以达到ppt level的检出限,明显优于目前大部分Fab厂的ppb level的检出限,其中已知难以分离的醋酸根离子也达到了2.53的分离度,方法的回收率大于95%。
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