作者：高成; 王长鑫; 黄姣英; 曹阳集成电路可靠性预计加速退化试验特征尺寸
摘要：以集成电路的特征尺寸和工艺水平为分类标准,将标准手册中的可靠性预计模型与实际的加速寿命试验数据进行结合,得到集成电路可靠性预计修正方法。通过此可靠性预计修正方法,能计算出集成电路的工艺修正系数数值,进而应用于可靠性预计模型之中,对集成电路可靠性预计方法进行修正。修正后的可靠性预计方法能够更加准确的对其可靠性进行预计,解决了现有标准手册模型不能完全准确体现出制造工艺发展的实际问题。
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