一种单大马士革结构超厚铜集成电感

作者：曾绍海; 陈张发; 李铭集成电路制造工艺开发单大马士革铜电感品质因子q

摘要：成功开发超厚介质膜的淀积和刻蚀工艺、超厚金属铜的电镀和化学机械研磨等工艺,采用与CMOS完全兼容的铜互连单大马士革工艺制作了超厚金属铜集成电感。该超厚金属铜电感在1~3GHz频率范围内的电感值均匀,在2.5GHz频率下的Q值达到11。并且进一步研究了线圈圈数、金属线宽和金属间距对电感值和Q值的影响。

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