作者:Maggie; Y.M.; Lee; Lita; Shon-Roy气体净化器气体污染工艺气体气体输送管道超高纯度输送管线反应腔高等级
摘要:即使供应商提供了最高等级的超高纯度工艺气体,fab内气体输送管道以及储存罐阀门所产生的杂质仍然会在气体进入反应腔前造成反应气体污染。而气体输送管线上的气体净化器可以解决这个问题。
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《集成电路应用》(CN:31-1325/TN)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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