太阳能电池pecvd面积制造电池模块太阳能模块沉积速度玻璃衬底
摘要:基于非晶硅(a-Si:H)和微晶硅(μc—Si:H)的薄膜太阳能电池模块日渐成为低成本、大尺度光伏(PV)应用的最佳选择。这类模块的吉瓦级产品需要大面积的均匀吸收层,同时也需要很高的吸收层的沉积速度。应用材料的SunFab薄膜工艺线可以在玻璃衬底上制造面积高达5.7m^2的太阳能模块——这比传统的薄膜模块大四倍。
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《集成电路应用》(CN:31-1325/TN)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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