作者：Aaron; Hand; Executive; Editor成本因素性能环保清洗技术tokyobrown清洗能力绿色清洗
摘要：随着对清洗技术的要求与日俱增,成本因素也变得越发重要。但是这一切并非是无本之源,如果清洗技术的表现差强人意,那么经济方面也不会有显著的改善。Tokyo Electron公司资深应用工程师Ian Brown说：“对于清洗技术而言不仅需要在提高清洗能力、效率、避免材料损失、确保刻蚀均匀性等方面有所建树，而且还要进一步降低成本花费。”实现绿色清洗，那么就必须满足性能和成本两方面的需求。
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