线宽量测从容面对32nm

作者：Alexander; E.; Braun量测线宽测试项目测量设备工艺监控测量技术计算模型技术检测

摘要：尽管有迹象表明传统的测量设备已经达到了能力的极限,但是全新设计并具有更为复杂的计算模型的新一代测量技术将继续为包括工艺监控、技术检测、物理测量和电学测试在内的各种测试项目提供高精度、高重复性的技术支持。

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