蒸汽发生器注水系统气泡发生器125型点火装置直接取代气压系统去离子水
摘要:UHP 125型蒸汽发生器可以在6、8和12寸管式炉中使用,当所需的纯水蒸气流速达12.5slm时,可以直接取代点火装置、气泡发生器和直接注水系统。该系统可以控制水蒸气进入真空或大气压系统的流速,并可采用去离子水而不是氢气或氧气产生UHP蒸汽。
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《集成电路应用》(CN:31-1325/TN)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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