作者:蔚健液体过滤器纳米级颗粒流量过滤面积压损颗粒过滤器压力损失过滤技术
摘要:使用孔径更小的颗粒过滤器会带来更大的液体压力损失,导致流量降低。300mm的制程需要液体有更高的流量。所以过滤技术必须有所提高。
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《集成电路应用》(CN:31-1325/TN)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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