光刻专家评选浸没式和EUV光刻技术

作者：Aaron; Hand光刻技术euv浸没式半导体技术评选专家32纳米技术论坛温哥华供应商

摘要：根据5月份在温哥华举行的受邀光刻技术论坛披露的报告，最新的国际半导体技术蓝图（ITRS）中，半导体厂商和供应商就光刻的前景和未来达成了普遍的共识。对各项最新的光刻技术的研究表明，193纳米浸没式光刻技术将成为量产45纳米节点产品的首选，而EUV（极紫外）光刻技术将在32纳米节点上大展拳脚。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社