作者：Alexander; E.; Braun测试技术互连传统技术测量技术量测技术dft新材料
摘要：虽然诸如OCD和散射测量技术等传统技术成功地应用于栅刻蚀和互连，CD-SEM仍旧在晶圆厂发挥作用，但是随着超低K等新材料的引入对新的量测技术和DFT的发展提出了要求。
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《集成电路应用》（CN：31-1325/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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