作者：G.B.; Alers; J.; Sukamto; S.; Park; G....有限尺寸效应铜互连平均自由程声波散射物理极限金属互连氧化层厚度芯片尺寸栅氧化层光波长
摘要：随着芯片尺寸的微缩，一些物理极限通常会从根本上对材料和工艺的功能产生限制。就光刻而言，曝光波长限制了投影图形的尺寸；在栅氧化层中，电子的隧穿长度限制了氧化层厚度的等比例缩小；在互连中，最早出现的物理极限就是金属互连中电子的平均自由程。如果金属连线的尺寸小于或者等于平均自由程（λ），那么导线表面的散射就会叠加在本征声波散射之上，电子的散射时间将缩短。
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