离子注入设备注入能量p型
摘要：VIISta 900XP是一款为满足使用亚兆电子伏能量实现N或P型反阱工艺的需求而设计的离子注入设备。设备提高了注入能量的使用上限，并优化了结构能够实现精确的真正零角度的离子注入。VIISta 900XP的产量达到每小时500片．
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《集成电路应用》（CN：31-1325/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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