作者:华金东圆片制造大宗气体特气化学品超纯水冷却水
摘要:本文介绍了半导体制造中的气体系统、化学品系统、超纯水系统、冷却水系统的特点及应用,以便更好保障生产。
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《集成电路应用》(CN:31-1325/TN)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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