作者:戴放; 于洪洲; 沈吉; 简云飞ccdmpp沟道电压暗电流
摘要:采用MPP(多相钉扎)技术的CCD具有优异的暗电流性能,在军事观察、天文观测和生物工程等领域有大的发展潜力和应用前号。针对采用MPP简化的二维二相CCD结构,研究丁不同的沟道电极电压对这种CCD结构的沟道电压、界面栽流子浓度和暗电流等参数的影响。通过改变沟道电极电压模拟了CCD的MPP工作状态,实现了MPP功能,有效的抑制了Si-Si02界面态的热产生,降低了CCD的暗电流密度。
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