MEMS加速度计微电容检测技术研究

作者：方岚; 郑宇; 徐栋电容式加速度计电容检测差动电容调制开关电容

摘要：从MEMS电容式加速度计基本原理入手，介绍了电容检测电路在传感器测控中的作用，并针对微电容检测时外部信号调节模式不同，归纳并分析了电桥法、电容分压检测法、调制型检测电路和开关电容检测电路等典型实用的微电容检测方法，对设计高灵敏度的电容检测电路提供了理论依据。

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