作者：汪祖民; 郭群英; 徐栋; 王鹏; 何凯旋; 熊...线性度soi压力传感器u型压敏电阻
摘要：使用SOI硅片材料，采用选择性自停止腐蚀工艺，设计了一种具有高线性度的压力传感器。该压力传感器包括压力敏感膜及其上的四个压敏电阻，压敏电阻通过离子注入扩散布局在压力敏感膜的四边中间位置，通过对压敏电阻的长、宽、结深和在膜上的位置等的综合分析，确立压力传感器线性度最优的设计方案。通过建立的理论模型，并利用COVENTORWARE软件对传感器模型进行模拟分析和验证，仿真结果表明，压力传感器在700kPa时的最大非线性度为0．148％，灵敏度为0．1mv／kPa，具有较高的性能。
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