微惯性测量组件关键技术研究

作者：俞瑛; 鞠莉娜惯性传感器标定补偿

摘要：微惯性测量组件（MIMU）的基本组成包括三个（单轴）MEMS加速度计、三个（单轴）MEMS陀螺仪以及信号转换和信号处理电路。通过优化微组装工艺流程与工艺参数设计、配合水平定位装置与垂直定位装置工装，实现MIMU三维、三轴高精度组装。MIMU误差补偿与标定的主要对象是MEMS惯性传感器的零位偏置、刻度因子、轴向非重合性、轴向非正交性等参数。高性能的MIMU对高精度制导定位具有极其重要的作用。

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