作者:王鹏; 徐栋; 何凯旋; 王文婧; 陈博; 陈璞...电容加速度计抗冲击灵敏度
摘要:基于体硅微机械加工技术,设计分析了一种抗冲击“三明治”电容式MEMS加速度计。利用敏感质量块与固定电极构成电容差分结构,在有效提高加速度计灵敏度的同时,减小了寄生电容的干扰,提高了加速度计的测量精度,并对悬臂梁的抗冲击性能做了仿真分析,保证了加速度计工作的可靠性。经仿真与理论计算分析表明,该加速度计在Z轴向的灵敏度为0.125pF/g,谐振频率为4.9kHz,量程为±50g,抗冲击性能可达15000g。
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