美研究将MEMS晶体管集成至CMOS电路

cmos电路晶体管mems集成cmos芯片联盟成员微机电系统康奈尔大学

摘要：美国半导体研发联盟机构SemiconductorResearch（SCR）与康奈尔大学（ComellUniversity）合作发表一种微机电系统（MEMS）晶体管，并可提供给SCR联盟成员采用，做为CMOS芯片上的时序（timing）解决方案。

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