电容式MEMS加速度传感器技术

作者：方澍; 郭群英; 汪祖民; 徐栋电容式加速度计微机械悬臂梁电容检测

摘要：电容式MEMS加速度传感器是研究最多的一种微加速度传感器。通过分析电容式加速度传感器工作的基本原理，和对传感器结构设计、梁的设计、过载保护设计、材料选取及加工工艺进行了详细的总结，介绍了目前比较典型的平板电容加速度传感器和梳齿式加速度传感器的结构特点及工艺，分析其各自的优缺点，最后归纳了电容式MEMS加速度传感器设计中的一些关键技术。

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