作者：张静; 侯育增键合失效电镜扫描键合拉力
摘要：针对某批次混合集成电路Au—Al键合失效现象进行分析研究，通过电镜扫描微观察和X射线能谱分析，结合键合拉力数据统计分析，查明了造成此电路键合失效的真正原因。
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