3-D Flash技术取得突破

flash技术化学机械研磨制造方法创新公司制造方式硅基薄膜供货商

摘要：3-D Flash创新公司Schitron Corporation与专门提供化学机械研磨（CMP）设备及代工服务的领先供货商Entrepix合作，发展使用现有的材料，工具和制造方法制造3-D F1ash，从而利用简单直接的方式扩大产量。Schitron3-D Flash制造方式的最关键制程步骤是CMP的达成，该公司的联合开发成果已制造迄今为止最小的硅基薄膜晶俩管。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社