晶圆全自动测试接口技术的设计与实现

作者：曾雪来; 明源; 方岚; 朱芳晶圆全自动测试系统接口模块

摘要：根据晶圆自动测试系统的设计构思，先后完成了电路测试仪及探针台的改进，测试结果信号进行传递的互联接口模块的设计和制作。测试系统实现后进行了实际测试验证。测试过程和结果表明，该系统实现了电路测试的自动化，适用于大批量生产过程的晶圆测试。

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