作者：明源; 曾雪来晶圆单管pcmsmu
摘要：为了使4200型半导体特性描述系统（以下简称4200系统）能够最大限度地发挥作用，根据工作需要将该系统首次用于PCM参数测试。同时，与使用传统的晶体管图示仪测试的PCM参数进行了对比。结果表明，4200系统在PCM参数测试中具有很高的实用性，为稳定工艺提供了可靠监控手段。
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