小剂量离子注入均匀性的工艺控制

作者：周坤离子注入束流剂量均匀性

摘要：本文叙述了影响小剂量离子注入均匀性的几个主要因素，其中包括束流品质、离子束聚焦与扫描以及束流大小的选择等。同时介绍了如何控制这些因素来获取优异的注入均匀性，通过这些控制手段，均匀性可以优于5％，结果令人满意。

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