微机械陀螺仪版图与工艺设计

作者：熊爱武微机械音叉陀螺微系统体硅工艺

摘要：体硅MEMS工艺是一种主要的微机电系统加工手段，通过对陀螺结构研究和体硅MEMS工艺的实验，在陀螺的版图设计和工艺加工方面积累了一些实践经验。对于我们今后开展体硅MEMS工艺技术研究和陀螺结构设计是一个很好的借鉴。

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