作者：姚道俊划片砂轮优化过程工艺参数陶瓷基片硅晶圆切割刀片
摘要：介绍了砂轮划片的工艺优化过程，同时给出了在一定工作条件下切割硅晶圆、特别是切割陶瓷基片所选用的适用刀片和相应的工艺参数，并对刀片优化进行了初步的探讨。
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