作者:何晖; 包汉波电子气体现状国产化
摘要:本文主要对我国电子气体的现状进行了分析与总结,包括电子气体生产所存在的问题以及电子气体生产厂家的产品及产能情况。我国不断填补电子特气领域的空白,但是高端电子特气要实现大规模国产化,完全摆脱进口材料的依赖依然任重而道远。
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