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MOCVD制备中温TiO2-Al2O3复合涂层及其抑焦性能研究

作者:邹腾修; 龚贤龙; 邓松辉; 朱权; 王健礼沉积温度抑制结焦mocvd

摘要:本文以异丙醇钛和仲丁醇铝为原料,采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)共沉积法在310S不锈钢表面制备不同温度TiO2-Al2O3复合涂层,并采用扫描显微镜、能量散射X射线光谱表征了复合涂层的表面形貌、厚度、元素组成。结果显示:不同复合涂层厚度均随沉积时间增加而增加,涂层均匀致密,复合涂层中Ti、Al、O三种元素含量随沉积温度线性变化。晶型测试表明:250℃和300℃沉积复合涂层为无定型的TiO2和Al2O3构成,350℃和400℃时复合涂层的晶型结构为锐钛矿相的TiO2和无定型的Al2O3。不同温度沉积TiO2-Al2O3复合涂层试样结焦评价后积碳量均较310S空白试样大大减少,400℃沉积复合涂层试样表面没有丝状积碳出现,表明复合涂层具有较好的抑制金属催化结焦效果。

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化学研究与应用

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