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新一代蚀刻气六氟-1,3-丁二烯的性质、制备和应用

作者:于剑昆; 张志勇六氟丁二烯全氟丁二烯电子气体蚀刻性质制备应用

摘要:详细介绍了电子工业用新一代蚀刻气六氟-1,3-丁二烯(HFBD)的性质、制备和提纯工艺,并指出了各种工艺的优缺点。同时介绍了HFBD的储运规范、应用情况以及国内外市场概况等。

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化学推进剂与高分子材料

《化学推进剂与高分子材料》是一本有较高学术价值的大型双月刊,主要刊登:(1)化学推进剂及其原材料;(2)橡胶、纤维、塑料、合成胶黏剂、高分子涂料和高分子复合材料,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度,颇受业界和广大读者的关注和好评。

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