作者：付梦月; 黄晓磊; 周宪峰; 许福胜; 张景利四氟化碳放电离子化检测器气相色谱痕量杂质分析
摘要：采用配有放电离子化检测器的气相色谱仪分析高纯四氟化碳中痕量气体杂质。研究了分析四氟化碳中氧气、氮气、一氧化碳、二氧化碳和六氟化硫等气体杂质的操作参数，确定了高纯四氟化碳中痕量气体杂质的分析方法。
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