作者：于剑昆日本昭和电工净化产品空气合资企业cf4半导体
摘要：空气产品公司近日对外宣布，将扩大与日本昭和电工的合作范围，在已成立10年之久的合资企业昭和电工空气产品公司继续生产蚀刻材料和半导体室净化产品如CF4和C2F6之外，双方将在日本的川崎市再合建一个C4F6新厂。据称，新工厂预计2009年上半年建成投产。
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