作者：晋正茂; 李辉; 武振国; 芦梦东多晶硅精馏工序精制三氯氢硅质量控制
摘要：在改良西门子法多晶硅生产中,主要的中间产品为精制三氯氢硅和氢气,精制三氯氢硅、氢气的质量对多晶硅的质量有很大的影响,精制三氯氢硅来源于精馏工序。本文重点对现有的多晶硅装置精馏工序精制三氯氢硅生产工艺进行了简要的介绍,重点探讨了要生产出合格精制三氯氢硅的质量控制要点。
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《化学工程与装备》（CN：35-1285/TQ）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《化学工程与装备》读者分布范围主要在化学、化工、分析测试、医药、石油、油气、环保、食品、煤炭、装备制造、自动化仪表、相关教育教学和管理等领域。
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