作者:苏美玉冷氢化技术多晶硅生产危险介质危险因素
摘要:文章介绍了冷氢化技术的概念、产生、以及在多晶硅生产中的应用,从高压低温冷氢化技术与氯氢化技术两个方面,重点阐述了冷氢化技术原理。列举了几种主要的危险介质,包括氢气、氧气、氯化氢、三氯氢硅、四氯氢硅、硅粉等,并描述了其特性。最后,从氢气制备与净化、三氯氢硅还原、四氯化硅氢化几个方面,对工艺过程的危险因素进行了分析。
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