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组合激光辐照单晶硅的热作用数值分析

作者:张明鑫; 聂劲松; 孙可; 韩敏组合激光激光损伤数值分析单晶硅

摘要:利用有限元法对组合激光辐照单晶硅的温度及应力场进行了数值分析,在组合激光与连续激光平均功率密度相同的前提条件下比较了组合激光和连续激光分别作用于单晶硅的损伤效果。计算结果表明,组合激光与连续激光相比更有利于实现对单晶硅的热损伤;组合激光作用下单晶硅内部的VonMises应力、轴向应力和环向应力比在连续激光作用下要大,组合激光对单晶硅的损伤比连续激光更强。

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红外与激光工程

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