作者：刘俭; 刘正君成像技术超分辨高分辨图像空间分辨率高数值孔径形貌测量位移测量形变测量
摘要：超分辨成像技术可应用于以成像、形貌测量、位移测量、形变测量为基础的很多重要研究，目前已经在物理、化学、材料、生命科学等领域有广泛应用。该技术可以对未知世界实现无损地获取清晰图像。而超成像技术的发展又受限于电磁波的衍射特性，因此传统显微成像仪器直接获取图像的空间分辨率最高可达到半波长量级。早期人们通过使用短波和高数值孔径构建成像系统来获取高分辨图像，有限的技术途径难以满足不断增加的应用需求。近年来突破衍射极限的超分辨成像技术已成为成像领域一个富有挑战性的前沿课题。
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