作者：袁配; 王玥; 吴远大; 刘丽杰; 安俊明; 胡...硅基光电子阵列波导光栅双刻蚀结构
摘要：报道了基于绝缘体上硅材料的25通道、信道间隔200 GHz的阵列波导光栅,分别优化了输入波导/输出波导/阵列波导间的最小间距(Δxi/Δxo/d),及其自由传播区和阵列波导之间边界结构(W2/L2/L3).实验结果表明,该阵列波导光栅的插入损耗为5~7dB,串扰为13~15dB,该阵列波导光栅的性能得到有效提升.同时也提出了减小插损与串扰的进一步优化方案.
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