作者：崔大圣; 丁正之; 郝海东; 吕昕互补金属氧化物半导体工艺肖特基二极管透镜天线
摘要：设计了一种高集成检波器,其包含贴片天线、匹配电路、肖特基二极管和透镜.在中芯国际130 nm工艺下将天线、匹配电路、肖特基二极管集成到一个芯片上,检波器的集成度相比于分离式有了明显的提高.为增强片上天线的方向性,进行了带有空气腔的尼龙透镜的设计和优化.透镜上的空气腔不但提供了组装空间而且减小了透镜体积.通过测试,天线在220 GHz辐射增益为22 dB,其中透镜贡献约为20 dB.检波器测试得到的响应率可达到130~150 V/W,等效噪声功率计算为400~460 pW/√Hz.
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