作者：梁志清; 刘子骥; 蒋亚东; 郑兴; 王涛; 于...太赫兹探测器钽酸锂晶片化学研磨及机械抛光电压响应率噪声等效功率
摘要：太赫兹（Thz）探测器工作在室温条件下极大地促进了太赫兹科学与技术的应用。超薄（10μm）钽酸锂（LiTaO3）晶片被用作太赫兹探测器敏感元材料。基于钽酸锂晶片太赫兹探测器在2.52 THz激光辐射源照射下,20Hz斩波频率时响应率可达到8.38×10^4V/W,等效噪声功率NEP）可达到1.26×10^（-10）W。这种加工超薄钽酸锂晶片的方法为制备高响应率太赫兹探测器提供了一个可行的方法。
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