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液相外延碲镉汞材料组分均匀性改善

作者:吴军 毛旭峰 万志远 李沛 韩福忠石墨舟碲镉汞组分均匀性lpe

摘要:由碲镉汞薄膜材料的厚度不均匀性入手,改进水平滑舟液相外延工艺,从而改善了碲镉汞薄膜材料组分均匀性,使距薄膜边缘1.5 mm(衬底边缘2.5 mm)以内的薄膜材料组分均匀性得到了长足的提高,增大了薄膜材料用于制备焦平面器件的利用率。中波碲镉汞材料(λ1/2(77 K)=4.8μm)△x≤0.001,与国外水平相当。

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红外技术

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