作者:洪雁; 赵鹏; 郑丽娟; 何丹; 裘萍短波阳极氧化工艺光导器件性能红外光探测器成品率改变最佳工艺条件研究
摘要:简要介绍了通过阳极氧化工艺条件的改变,确定1~3μm短波红外光导探测器阳极氧化的最佳工艺条件,从而改善了器件性能,大大提高了产品成品率.
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《红外技术》(CN:53-1053/TN)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《红外技术》的军事应用,红外和热成像观瞄、识别、跟踪、制导,红外警戒与微光夜视技术,红外对抗与反对抗技术是本刊宣传报道的重点。
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