作者：张永久; 刘连泽; 张阔; 岳威; 崔铖偏振膜膜系设计离子源辅助沉积光谱检测
摘要：介绍了近红外固体激光器中2.06μm激光偏振膜的用途、设计与制备方法。基于薄膜光学的基本理论以及三种不同膜系结构的对比,确定了初始膜系结构。讨论了薄膜选材、通带波纹压缩、工艺制备等相关技术问题。利用计算机优化软件对膜系结构进行了反复优化。采用电子束真空蒸镀和离子源辅助沉积工艺完成了偏振膜的制备,并对其进行了光谱检测。然后根据测试结果对制备过程中的相关参数进行了优化,最终制备出了光学性能优异、膜层吸收少、均匀性好、稳定性高的激光偏振膜。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
