作者：王金斌喇曼光谱soi材料空间分辨率晶格振动喇曼频率晶体光学性质
摘要：本文从喇曼光谱原理、实验方法和实验手段上阐述显微喇曼在测试SOI材料局部应力中的应用,详细综述了显微喇曼光谱对各种不同SOI材料的喇曼分析.通常来说,局部内应力会引起喇曼峰的宽化以及峰位的移动,压应力会使喇曼峰向高频方向移动,而张应力却是向低频方向移动.详细分析喇曼峰的移动情况可以分析材料内部的应力分布情况.由于显微喇曼能提供小于1μm空间分辨率,同时分析时无需对材料进行破坏,因而是一种实用性很强的分析手段.
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